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專業服務
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| 各種產業潔淨等級要求對照表 | ||
| 業種別 | 適用場所 | 潔淨度(Class) |
| 光學工業 | 光學鏡頭、刻度雕刻、醫學用相機、鏡片黏合製程、相機組立、微縮脹捲顯像、鏡片研磨製程、塗裝、底片製造乾燥。 | 100100~100,000 |
| 精密機械工業 | 電氣接點、袖珍軸承、精密誘導裝置、電子鐘錶元件、精密元件、儀器、軸承、鐘錶之組立、檢查。 | 100100~100,000 |
| 電子電機工業 | 半導體業之結晶精製、蝕刻製程、位置調整、表面處理、金屬蒸著、積體電路、映像管、錄放影機、電腦用磁帶、電腦製造、繼電器。 | 100100~100,000 |
| 印刷工業 | 精密製版、電子製版。 | 10~100100~100,000 |
| 菇菌栽培 | 香菇、洋菇、木耳菌之培養。 | 10,000 |
| 育 種 | 黴菌類污染之防止。 | 10,000 |
| 食肉加工 | 乳製品製造、魚糕、火腿、蘑菇製造、飲料裝瓶及封蓋。 | 10,000 |
| 醫 院 | 無菌手術房、無菌室、手術用器具保管、早產兒保育、一般手術室、加護病房、藥劑室、恢復室、病房。 | 100~100,000 |
| 臨床檢驗 | 細菌、黴菌、組織培養等。 | 10~100100~100,000 |
| 製 藥 | 抗生素、注射液及其封瓶、血清製造、藥品打錠、血液分裝、注射針筒、繃帶、化妝品製造。 | 1001,000~100,000 |
| 無塵室依等級的不同，對一定空間的微塵粒子最大容許量亦有一定規範，在國際標準中最常用的規範為 Fed-Std-209E | ||
| 美國聯邦標準 － 209E 潔淨室規格表 | |||||||||||
| 等級限值 | |||||||||||
| 等級名稱 |
0.1μm 容積單位 |
0.2μm 容積單位 |
0.3μm 容積單位 |
0.5μm 容積單位 |
5μm 容積單位 |
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| SI | 英制 | m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 | ft3 |
| M1 | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.876 | 10.0 | 0.283 | - | - | |
| M1.5 | 1 | 1,240 | 35.0 | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | - | - |
| M2 | 3,500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | - | - | |
| M2.5 | 10 | 12,400 | 350 | 2,650 | 75.0 | 1,060 | 30.0 | 353 | 10.0 | - | - |
| M3 | 35,000 | 991 | 7,570 | 214 | 3,090 | 87.5 | 1,000 | 28.3 | - | - | |
| M3.5 | 100 | 26,500 | 750 | 10,600 | 300 | 3,530 | 100 | - | - | ||
| M4 | 75,700 | 2,140 | 30,900 | 875 | 10,000 | 283 | - | - | |||
| M4.5 | 1000 | 35,300 | 1,000 | 247 | 7.00 | ||||||
| M5 | 100,000 | 2,830 | 618 | 17.5 | |||||||
| M5.5 | 10000 | 353,000 | 10,000 | 2,470 | 70 | ||||||
| M6 | 1,000,000 | 28,300 | 6,180 | 175 | |||||||
| M6.5 | 100000 | 3,530,000 | 100,000 | 24,700 | 700 | ||||||
| M7 | 10,000,000 | 283,000 | 61,800 | 1,750 | |||||||
| 美國聯邦標準 － 209D 潔淨室規格表 | |||||||||||
| 級數 | 粒子大小 | 粒子數目 | 壓力 | 溫度°C | 溼度% | 風速與換氣率 | 照度 | ||||
| um | Particles/ft3 | mmAg | 範圍 | 推薦值 | 誤差值 | 最高 | 最低 | 誤差值 | 次/hr | lux | |
| 1 | ≧ 0.5 | ≦ 1 | >1.3 | 19.4 ～25 |
22.2 |
±2.8 特 殊 需 求 ±1.4 |
45 | 30 |
±10 特 殊 需 求 ±5 |
層流方式 0.35～0.55m/s |
1,080～1,620 |
| ≧ 5.0 | 0 | ||||||||||
| 10 | ≧ 0.5 | ≦ 10 | |||||||||
| ≧ 5.0 | 0 | ||||||||||
| 100 | ≧ 0.5 | ≦ 100 | |||||||||
| ≧ 5.0 | ≦ 1 | ||||||||||
| 1,000 | ≧ 0.5 | ≦ 1,000 |
亂流方式 ≧20 次/hr |
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| ≧ 5.0 | ≦ 10 | ||||||||||
| 10,000 | ≧ 0.5 | ≦ 10,000 | |||||||||
| ≧ 5.0 | ≦ 65 | ||||||||||
| 100,000 | ≧ 0.5 | ≦ 100,000 | |||||||||
| ≧ 5.0 | ≦ 700 | ||||||||||